发明名称 EINRICHTUNG ZUR IONENGESTUETZTEN BESCHICHTUNG MIT PLASMATRON-ZERSTAEUBUNGSQUELLEN
摘要
申请公布号 DD141685(A1) 申请公布日期 1980.05.14
申请号 DD19790211738 申请日期 1979.03.22
申请人 HEISIG,ULLRICH,DD;STEINFELDER,KARL,DD;GOEDICKE,KLAUS,DD;BILZ,HARALD,DD;HARTUNG,JOHANNES,DD;HEMPEL,WOLFGANG,DD;KOSCH,WOLFGANG,DD;GEHM,KLAUS,DD 发明人 HEISIG,ULLRICH,DD;STEINFELDER,KARL,DD;GOEDICKE,KLAUS,DD;BILZ,HARALD,DD;HARTUNG,JOHANNES,DD;HEMPEL,WOLFGANG,DD;KOSCH,WOLFGANG,DD;GEHM,KLAUS,DD
分类号 (IPC1-7):C23C15/00 主分类号 (IPC1-7):C23C15/00
代理机构 代理人
主权项
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