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发明名称 WIRE BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5563833(A) 申请公布日期 1980.05.14
申请号 JP19780136817 申请日期 1978.11.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKASUGI NOBUHIRO;KIYOUMASU RIYUUICHI;TAKASHIMA KAZUHISA
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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