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发明名称
摘要
申请公布号 DE2809564(B2) 申请公布日期 1980.05.14
申请号 DE19782809564 申请日期 1978.03.06
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO 发明人 KIMURA, SHIN;FUKUI, HIROSHI;TERASAWA, YOSHIO, KATSUTA
分类号 H01L29/74;(IPC1-7):H01L29/74 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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