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发明名称 END POINT DETECTION METHOD AND ITS APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5563830(A) 申请公布日期 1980.05.14
申请号 JP19780137689 申请日期 1978.11.08
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 KOMIYA HIROYOSHI;TOYODA HIROYASU;TOBINAGA MINETO;ITAKURA HIDEAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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