发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5563819(A) 申请公布日期 1980.05.14
申请号 JP19780136572 申请日期 1978.11.06
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA KUNIO
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址