发明名称 ELECTRON MICROSCOPE FOCUSSING DRIVING DISPLAY UNIT
摘要
申请公布号 JPS5562651(A) 申请公布日期 1980.05.12
申请号 JP19780134544 申请日期 1978.11.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIZUNO HIROYUKI;KOUCHI TOSHIO
分类号 H01J37/21 主分类号 H01J37/21
代理机构 代理人
主权项
地址