| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5562741(A) |
申请公布日期 |
1980.05.12 |
| 申请号 |
JP19780136413 |
申请日期 |
1978.11.06 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HATAISHI OSAMU;MONMA YOSHINOBU;KURAHASHI TOSHIO |
| 分类号 |
H01L21/283;H01L21/265;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/283 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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