| 发明名称 |
METHOD FOR GAS PHASE EPITAXIAL GROWTH OF MAGNESIA SPINEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5561035(A) |
申请公布日期 |
1980.05.08 |
| 申请号 |
JP19780134343 |
申请日期 |
1978.10.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
IHARA MASARU;YAMAWAKI HIDEKI;CHIFUKU MASAYUKI;ARIMOTO YOSHIHIRO;KIMURA TAKAAKI |
| 分类号 |
H01L27/00;C30B25/02;C30B25/12;C30B29/26;H01L21/205;H01L21/365;H01L21/84;H01L21/86 |
主分类号 |
H01L27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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