| 发明名称 |
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5561021(A) |
申请公布日期 |
1980.05.08 |
| 申请号 |
JP19780134140 |
申请日期 |
1978.10.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SHIBAMATA YOSHIYUKI;ONODERA HIDEO;KIRISAKO TADASHI |
| 分类号 |
H01L21/31;C30B25/10;C30B31/12;C30B33/00;H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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