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发明名称 VAPOR PHASE GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5560099(A) 申请公布日期 1980.05.06
申请号 JP19780131529 申请日期 1978.10.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 AOYAMA TAKASHI;SUZUKI TAKAYA;INOUE HIRONORI
分类号 C30B25/16;C30B25/00;H01L21/205 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
主权项
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