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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5558569(A) 申请公布日期 1980.05.01
申请号 JP19780131380 申请日期 1978.10.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUSANO YUUJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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