发明名称 |
SEMICONDUCTOR LOGIC CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5558546(A) |
申请公布日期 |
1980.05.01 |
申请号 |
JP19780129989 |
申请日期 |
1978.10.24 |
申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
SAITOU SHINJI;SEKINE MASATOSHI;MIYAMOTO JIYUNICHI |
分类号 |
H01L21/74;H01L21/3205;H01L21/822;H01L21/8222;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/08;H01L27/082;H01L27/10 |
主分类号 |
H01L21/74 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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