| 发明名称 |
PHOTOLITHOGRAPHIC MASKS AND METHODS FOR THEIR MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3542612(A) |
申请公布日期 |
1970.11.24 |
| 申请号 |
USD3542612 |
申请日期 |
1967.08.11 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO. INC. |
发明人 |
GEORGE R. CASHAU;JAMES W. GEORGE |
| 分类号 |
C23C14/02;(IPC1-7):C23F1/02 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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