| 发明名称 |
METHOD EMPLOYING ION BEAMS FOR POLISHING AND FIGURING REFRACTORY DIELECTRICS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3548189(A) |
申请公布日期 |
1970.12.15 |
| 申请号 |
USD3548189 |
申请日期 |
1965.06.16 |
| 申请人 |
ADEN B. MEINEL;STANLEY BASHKIN;DONALD A. LOOMIS;JOHN B. SCHROEDER |
发明人 |
ADEN B. MEINEL;STANLEY BASHKIN;DONALD A. LOOMIS;JOHN B. SCHROEDER |
| 分类号 |
C03C23/00;C04B41/53;C04B41/91;H01J37/30;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
C03C23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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