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发明名称 ELECTRONNRAY DEFLECTING APPARATUS FOR SCANNTYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS5557247(A) 申请公布日期 1980.04.26
申请号 JP19780130251 申请日期 1978.10.23
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 SAITOU SHIYUUICHI;TAKASHIMA SUSUMU
分类号 H01J37/147;H01L21/027 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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