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发明名称
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE EXTERNAL APPEARANCE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5556640(A)
申请公布日期
1980.04.25
申请号
JP19780129267
申请日期
1978.10.20
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
NISHIGAYA ISAO
分类号
G02B21/24;H01L21/66
主分类号
G02B21/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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