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发明名称 VERFAHREN ZUM SPALTEN VON HALBLEITERMIKROPLAETTCHEN IN EINZELSTUECKE
摘要
申请公布号 DE2941476(A1) 申请公布日期 1980.04.24
申请号 DE19792941476 申请日期 1979.10.12
申请人 EXXON RESEARCH AND ENGINEERING CO. 发明人 R. WOOLHOUSE,GEOFFREY;A. HUGGINS,HAROLD;W. COLLINS,DAVID;J. ANDERSON,STEPHEN;W. SCHOLL,FREDERICK
分类号 H01L21/30;H01L21/301;H01L21/306;H01L21/78;H01L33/00;H01S5/02;(IPC1-7):H01S3/19;H01L21/302;C23F1/02 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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