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发明名称 VAPOR PHASE GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5556096(A) 申请公布日期 1980.04.24
申请号 JP19780128529 申请日期 1978.10.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NOGAMI MASAHARU
分类号 C30B25/10;C30B25/00;C30B29/40;H01L21/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
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