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发明名称 METHOD OF HEATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5555539(A) 申请公布日期 1980.04.23
申请号 JP19780021077 申请日期 1978.02.24
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAGAWA KEIICHI
分类号 H01L21/66;H01L21/324;H01L21/326 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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