| 发明名称 |
ELECTRODE DEVICE FOR PLASMA PROCESSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5555530(A) |
申请公布日期 |
1980.04.23 |
| 申请号 |
JP19780127327 |
申请日期 |
1978.10.18 |
| 申请人 |
ULVAC CORP;SUGANO TAKUO |
发明人 |
SUGANO TAKUO;MATSUZAWA AKIO;ITOU TAKAO |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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