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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG DOTIERTER SCHICHTEN IN FESTKOERPEROBERFLAECHEN
摘要
申请公布号 DD141378(A1) 申请公布日期 1980.04.23
申请号 DD19790210368 申请日期 1979.01.08
申请人 GEILER,HANS-DIETER,DD;ZIEGLER,WOLFGANG,DD 发明人 GEILER,HANS-DIETER,DD;ZIEGLER,WOLFGANG,DD
分类号 H01L21/268;H01S3/00;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
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