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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5558042(U)	申请公布日期	1980.04.19
申请号	JP19780141946U	申请日期	1978.10.16
申请人		发明人
分类号	C23F1/08;H01L21/205;H01L21/208;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	C23F1/08
代理机构		代理人
主权项
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