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发明名称
摘要
申请公布号
JPS55500225(A)
申请公布日期
1980.04.17
申请号
JP19790500612
申请日期
1979.03.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/30;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
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