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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER LADUNGSGEKOPPELTEN ANORDNUNG FUER SENSOREN UND SPEICHER
摘要
申请公布号 DE2837485(A1) 申请公布日期 1980.04.17
申请号 DE19782837485 申请日期 1978.08.28
申请人 SIEMENS AG 发明人 TIHANYI,JENOE,DIPL.-PHYS.;JAENTSCH,OTTOMAR,DR.RER.NAT.
分类号 H01L29/762;H01L21/266;H01L21/339;H01L29/10;H01L29/765;(IPC1-7):H01L29/66 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
主权项
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