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发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5552270(A) 申请公布日期 1980.04.16
申请号 JP19780125563 申请日期 1978.10.11
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YAMAGUCHI YASUTAKA
分类号 H01L29/78;H01L21/283;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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