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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5514276(B2)
申请公布日期
1980.04.15
申请号
JP19720023894
申请日期
1972.03.10
申请人
发明人
分类号
H01J9/42;F04B37/16;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01J9/42
代理机构
代理人
主权项
地址
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