发明名称 ELECTRON PROBE EMPLOYING THREE SECONDARY EMISSION DETECTORS WHOSE OUTPUTS ARE COMBINED TO MINIMIZE ERROR
摘要
申请公布号 US3597607(A) 申请公布日期 1971.08.03
申请号 USD3597607 申请日期 1968.02.16
申请人 CAMBRIDGE INSTRUMENT CO. 发明人 ALISTAIR JOHN CAMPBELL;ANDREW D.G. STEWART
分类号 G01N23/203;(IPC1-7):G01T1/16 主分类号 G01N23/203
代理机构 代理人
主权项
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