发明名称 PROCESSO PER LA FORMAZIONE DI SOTTILI PELLICOLE METALLICHE.
摘要
申请公布号 IT8021315(D0) 申请公布日期 1980.04.11
申请号 IT19800021315 申请日期 1980.04.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 ROTHMAN LAURA BETH;TOTTA PAUL ANTHONY;WHITE JAMES FRANCIS
分类号 H01L21/306;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L23/485;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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