发明名称 |
PROCESSO PER LA FORMAZIONE DI SOTTILI PELLICOLE METALLICHE. |
摘要 |
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申请公布号 |
IT8021315(D0) |
申请公布日期 |
1980.04.11 |
申请号 |
IT19800021315 |
申请日期 |
1980.04.11 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
ROTHMAN LAURA BETH;TOTTA PAUL ANTHONY;WHITE JAMES FRANCIS |
分类号 |
H01L21/306;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L23/485;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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