发明名称
摘要
申请公布号 JPS5515640(Y2) 申请公布日期 1980.04.11
申请号 JP19760139860U 申请日期 1976.10.18
申请人 发明人
分类号 G01N23/225;G01N23/04;H01J37/22;H01J37/252;(IPC1-7):H01J37/252 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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