PROCEDE DE DIFFUSION D'ALUMINIUM EN TUBE OUVERT ENGENDRANT SIMULTANEMENT UNE DIFFUSION D'ISOLATION PLUS PROFONDE

摘要

Procédé plus court de diffusion.

Il comprend : - l'obtention d'une pastille de semi-conducteur; - l'application sélective d'un motif en aluminium sur une première surface de la pastille, seulement sur les zones au-dessous desquelles on souhaite mettre en oeuvre une diffusion d'isolation relativement profonde; - l'insertion de la pastille dans un tube de diffusion ouvert 12; - l'introduction d'un courant de gaz inerte à une première extrémité 16 du tube de diffusion, et échappement du gaz à la seconde extrémité 18 du tube; - le chauffage du tube à une température suffisante pour faire diffuser l'aluminium du motif directement dans la masse de la pastille qui se trouve sous le motif pour former les régions de diffusion d'isolation profondes, et pour vaporiser encore l'aluminium et le faire diffuser à travers la surface de la pastille non recouverte par le motif pour former une nappe de diffusion.