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经营范围
发明名称
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5548928(A)
申请公布日期
1980.04.08
申请号
JP19780122211
申请日期
1978.10.03
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAWAKAMI MINORU
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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