| 发明名称 |
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5548926(A) |
申请公布日期 |
1980.04.08 |
| 申请号 |
JP19780120365 |
申请日期 |
1978.10.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAMURA HIROSHI;MIYAO MASANOBU;SHIRAKI YASUHIRO;NAKASHIMA HISAO;TOKUYAMA KON |
| 分类号 |
H01L21/268;H01L21/265;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/268 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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