发明名称 PRODUCTION OF ZINC OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS5547225(A) 申请公布日期 1980.04.03
申请号 JP19780118507 申请日期 1978.09.26
申请人 TOKO INC 发明人 SAKAKURA MITSUO;TAKAKU TETSUO
分类号 C01G9/02;C23C14/08;C30B28/12;C30B29/16;H01L41/18 主分类号 C01G9/02
代理机构 代理人
主权项
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