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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF ZINC OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS5547225(A)
申请公布日期
1980.04.03
申请号
JP19780118507
申请日期
1978.09.26
申请人
TOKO INC
发明人
SAKAKURA MITSUO;TAKAKU TETSUO
分类号
C01G9/02;C23C14/08;C30B28/12;C30B29/16;H01L41/18
主分类号
C01G9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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