发明名称 METHOD OF MANUFACTUREING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 GB2030361(A) 申请公布日期 1980.04.02
申请号 GB19790029510 申请日期 1979.08.24
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 G01R31/27;G01R31/302;G01R31/308;H01L21/263;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/26;H01L21/32 主分类号 G01R31/27
代理机构 代理人
主权项
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