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发明名称 LOW PRESSURE GAS PHASE GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5546588(A) 申请公布日期 1980.04.01
申请号 JP19780120899 申请日期 1978.09.29
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 KIMURA MASAKAZU
分类号 C30B25/12;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
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