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发明名称
ELECTRONNBOMBARDMENT ION SOURCE FOR SOLID SAMPLE
摘要
申请公布号
JPS5546425(A)
申请公布日期
1980.04.01
申请号
JP19780119944
申请日期
1978.09.29
申请人
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB
发明人
OOTSUKA KIICHIROU
分类号
H01J37/08;H01J3/04;H01J49/10
主分类号
H01J37/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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