发明名称 ELECTRONNBOMBARDMENT ION SOURCE FOR SOLID SAMPLE
摘要
申请公布号 JPS5546425(A) 申请公布日期 1980.04.01
申请号 JP19780119944 申请日期 1978.09.29
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 OOTSUKA KIICHIROU
分类号 H01J37/08;H01J3/04;H01J49/10 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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