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发明名称 CLEANING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS5544780(A) 申请公布日期 1980.03.29
申请号 JP19780118958 申请日期 1978.09.27
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SHIBASAWA KATSUMI
分类号 B08B3/02;H01L21/302;H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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