发明名称 MANUFACTURE OF MULTILAYER WIRING TYPE SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5544752(A) 申请公布日期 1980.03.29
申请号 JP19780118220 申请日期 1978.09.25
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA MASARU
分类号 H01L21/3205;H01L21/302 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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