发明名称 DRUCKEMPFINDLICHE EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2938240(A1) 申请公布日期 1980.03.27
申请号 DE19792938240 申请日期 1979.09.21
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 MATSUOKA,YOSHITAKA;SHIMAZOE,MICHITAKA;YAMAMOTO,YOSHIMI;AI,MITSUO;MIYAUCHI,KENJI;NEMOTO,HIDEYUKI;TSUCHIYA,MASATOSHI;TANABE,MASANORI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/08 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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