发明名称
摘要
申请公布号 JPS5546933(U) 申请公布日期 1980.03.27
申请号 JP19780128594U 申请日期 1978.09.19
申请人 发明人
分类号 F23Q3/00;H01L41/04;(IPC1-7):F23Q3/00 主分类号 F23Q3/00
代理机构 代理人
主权项
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