发明名称 HOCHFREQUENZ PLASMAGENERATOR
摘要
申请公布号 DE1764479(B1) 申请公布日期 1972.03.09
申请号 DE19681764479 申请日期 1968.06.12
申请人 HUMPHREYS CORP 发明人 LEE THORPE MERLE;WILLIAM HARRINGTON KENT
分类号 H05H1/30;(IPC1-7):H05H1/00 主分类号 H05H1/30
代理机构 代理人
主权项
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