发明名称 IONENSELEKTIVER FELDEFFEKTSENSOR
摘要
申请公布号 DE2934405(A1) 申请公布日期 1980.03.27
申请号 DE19792934405 申请日期 1979.08.24
申请人 MUKAIBO,TAKASHI 发明人 SUGANO,TAKUO,PROF.;NIKI,EIJI,PROF.;OKABE,YOICHI;AKIYAMA,TATSUO
分类号 G01N27/00;G01N27/414;H01L29/78;(IPC1-7):G01N27/12;H01L49/00 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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