| 发明名称 |
APPARATUS FOR DETECTING THE DEFECTS OF A PATTERN WITH DIRECTIONAL CHARACTERISTICS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1563259(A) |
申请公布日期 |
1980.03.26 |
| 申请号 |
GB19760053702D |
申请日期 |
1976.12.22 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
G01N21/88;G01B11/24;G01N21/956;G02B27/46;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G01N11/00;G02B5/00 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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