发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5541703(A) 申请公布日期 1980.03.24
申请号 JP19780113622 申请日期 1978.09.18
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 NAKAYAMA RIYOUZOU;SHIBATA SUNAO
分类号 H01L29/08;H01L29/417;H01L29/78 主分类号 H01L29/08
代理机构 代理人
主权项
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