发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5541750(A) 申请公布日期 1980.03.24
申请号 JP19780114978 申请日期 1978.09.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIRAO TADASHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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