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发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5541751(A) 申请公布日期 1980.03.24
申请号 JP19780114981 申请日期 1978.09.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMADA TOMIHISA
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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