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摘要 PURPOSE:To coat to form the double-sided cubic structure dielectric thin film consisting of Bi12TiO20 by a sputtering process on the substrate which is heated by using the evaporation mechanism based on ionization by collision.
申请公布号 JPS5511246(B2) 申请公布日期 1980.03.24
申请号 JP19750136952 申请日期 1975.11.13
申请人 发明人
分类号 C04B35/00;C01G23/00;C01G29/00;C23C14/08;H01B3/00;H01B3/10;H01L41/18;H03H3/007;H03H3/08;H03H7/30 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
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