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发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5541761(A) 申请公布日期 1980.03.24
申请号 JP19780115344 申请日期 1978.09.19
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 MIYAIRI KATSUYOSHI;HORI YASUHIKO
分类号 H01L21/66;H01L21/50;H01L23/12 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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