发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5541745(A) 申请公布日期 1980.03.24
申请号 JP19780114930 申请日期 1978.09.18
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YONEZAWA KEISHIROU
分类号 H01L21/306;H01L21/302;H01L21/78 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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