发明名称 DETECTING CRYSTAL DEFECT
摘要
申请公布号 JPS5541771(A) 申请公布日期 1980.03.24
申请号 JP19780115375 申请日期 1978.09.20
申请人 SONY CORP 发明人 HAYAFUJI TAKANORI;TSUMORI TOSHIROU
分类号 G01N33/00;H01L21/66 主分类号 G01N33/00
代理机构 代理人
主权项
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